这个时候的光刻技术,采用的基本上都是干式光刻技术!
而浸润式光刻技术还没有出现!
浸润式光刻技术,对于光刻机的发展,带来了颠覆性的变化。
在龙腾的前世,‘浸润式光刻之父’林苯坚搞出了浸润式光刻技术,不仅使得宝积电在55nm之后,继续推动摩尔定律前进了7个技术世代,成为全球领先的晶圆代工业者,而且还让快要倒闭的光刻机巨头阿斯麦(AMSL)起死回生,逐步发展成为全球唯一的光刻机巨头!
因此,龙腾肯定会将浸润式光刻技术给攻克了!
其实,浸润式光刻技术的原理十分的简单。
就是利用水的折射率,将光源的波长变短,从而大大地提高制造芯片的精度!
不过,虽然这个技术的原理的特别简单,但是实现起来,难度特别的高!
因为这个技术对环境的要求特别的高。
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